檢索結果：共10筆資料 檢索策略： "洪儒生".ccommittee (精準) and cadvisor.raw="洪儒生"
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本論文以建構一個具有快速熱處理基材的低壓化學氣相沉積系統，並藉以研究以二氯矽烷為原料來沉積矽磊晶膜的變數效應。本研究以掌握裝置初期試車發生的問題並尋找可能的解決方案為研究目的。實驗過程分別針對紅外線…
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隨著工業化的迅速發展和擴張，導致了大量的二氧化碳排放，如何有效捕捉二氧化碳將成為當今的首要之務。因此，本研究採用密度泛函理論 (DFT) 並結合動力學模擬(microkinetic simulati…
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本論文中針對三氯矽甲烷(MTS)為原料在氫氣氣氛下化學氣相沉積β相碳化矽薄膜的反應機制進行量化模型之探討。首先以一簡化的模型，即僅考慮MTS氣相解離生成一中間產物並貢獻長膜的逐次反應型式，對熱壁式水…
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本研究乃以實驗室組裝之感應耦合電漿(ICP)反應系統來低溫氧化4H碳化矽晶片以製備閘極介電層。實驗上，以連結反應腔體至X射線光電子能譜儀(XPS)測量腔體，達到階段氧化後可不需暴露試片於大氣即可進行…
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本研究使用裝載266nm脈衝雷射之時間解析光致發光光譜(time-resolved photoluminescence, TRPL)分析了在低注入條件下磊晶層厚度小於15μm的4H-SiC磊晶片中少…
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隨著工業和交通的快速發展，許多化工生產過程中產生的工業氣體對周圍環境造成極大污染，也對人類健康造成巨大危害。因此，氣體傳感器在工業和環境監測領域對檢測這些有害氣體起著至關重要的作用。最近，NiPS3…
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本論文主要以硒化照射程序所影響的缺陷分佈和本質缺陷的相互作用作為探討的議題，針對導入硒化照射程序的特性，開發其照射程序對於缺陷抑制的機制及效果。論文中以螢光光譜解析觀察缺陷抑制的變化，並探討缺陷對於…